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壓力是我們生產(chǎn)生活中最重要的參數(shù)之一，壓力是否滿足實(shí)際要求，將影響我們的生產(chǎn)生活。我們生活之中最常見(jiàn)的壓力數(shù)據(jù)如：天然氣進(jìn)戶壓力是：2000Pa，如果壓力過(guò)高就會(huì)出現(xiàn)打不著的情況；自來(lái)水末端供水壓力為0.14MPa，壓力過(guò)高將有可能造成爆管情況發(fā)生，壓力過(guò)低，將有可能造成居民用戶不正常情況；還有我們生活中常見(jiàn)的汽車胎壓，汽車胎壓不正常，有可能造成汽車爆胎現(xiàn)象，如果在高速公路上爆胎，有可能造成人員傷亡情況的發(fā)生。

壓力與我們生活有著這么密切的關(guān)系，最早發(fā)現(xiàn)壓力的現(xiàn)象人又是誰(shuí)呢？大名鼎鼎的伽利略，他發(fā)明了注射器式水泵，他發(fā)現(xiàn)抽水機(jī)到10米之后，水將無(wú)法上升。

1644年，意大利科學(xué)家托里切利發(fā)現(xiàn)，1m長(zhǎng)的玻璃管內(nèi)裝滿水銀柱倒立后留下760mm現(xiàn)象，他稱之為“真空”。

1648年法國(guó)科學(xué)家帕斯卡聽(tīng)到托里切利和實(shí)驗(yàn)和伽利略的實(shí)驗(yàn)后，致力研究結(jié)果產(chǎn)生的原因，最后他得出水銀柱下降的高度等于空氣的質(zhì)量，他用公式闡明了這種力量，他稱之后“壓力”。后來(lái)為記念他為研究壓力所做出的貢獻(xiàn)，將壓力的單位定義為“帕斯卡”。

1843年，法國(guó)科學(xué)家路辛.維蒂（Vidie）發(fā)明了無(wú)液膜盒氣壓計(jì)，其以彈簧平衡代替液體來(lái)測(cè)量大氣壓力。彈簧在測(cè)量?jī)x表中受壓力作用而伸長(zhǎng)。Eugene Bourdon（Eugene Bourdon公司創(chuàng)始人）使用Vidie的指示器方式。

1849年Eugene Bourdon（波登）獲得用于更高壓力的彈性金屬曲管式壓力計(jì)的專利權(quán)。 此種類型壓力表目前還有廣泛應(yīng)用，其公司品牌壓力表還有市場(chǎng)上有所銷售。

1930年，Graeff（格拉夫）發(fā)明第一支壓力傳感器轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)，在此機(jī)構(gòu)中,膜片、彈簧或Bourdon管的移動(dòng)量變?yōu)殡娏坎糠?壓力膜片成為電容部分,指示器可動(dòng)機(jī)構(gòu)成為電位計(jì)分支。

1955年，第一個(gè)應(yīng)變片提供綜合式全電阻電橋,若把它粘結(jié)在膜片上,可看到中心和邊緣的應(yīng)力是相對(duì)的。

1965年，應(yīng)變片的膜片連接,總會(huì)引起滯后和非穩(wěn)定性。在60年代,Statham 提出第一個(gè)穩(wěn)定性好,滯后少的薄膜式傳感器。今天,在大壓力的市場(chǎng)上它是主要的競(jìng)爭(zhēng)者。

1973年，William R. Poyle獲得以玻璃或石英為基礎(chǔ)的電容式傳感器的專利權(quán)。幾年后,1979年 Kavlico的Bob Bell獲得以陶瓷為基礎(chǔ)的傳感器的專利權(quán),此技術(shù)填補(bǔ)了低壓范圍（薄膜不適宜的空缺）。今天，陶瓷膜片上帶有電阻。這使此技術(shù)廣泛地在非良好介質(zhì)的用途中得到應(yīng)用。

1967年，美國(guó)Minneapolis的Honeywell研究中心Art R. Zias（齊亞斯） 和John Egan 獲得邊界約束型硅膜片的專利權(quán)，開(kāi)啟了新的傳感器時(shí)代。

1969年H.W.Keller獲得網(wǎng)格式批量擴(kuò)散硅芯片的專利權(quán) ,此技術(shù)利用了集成電路技術(shù)的巨大進(jìn)展成果。現(xiàn)代傳感器的典型重量為0.01克,如果所有非晶態(tài)膜片具有固有的滯后現(xiàn)象,那么用今天的工具也不能測(cè)出其精確的界限。

1994年，日本橫河(yokogawa)公司發(fā)明出單晶硅諧振式傳感器技術(shù)，其穩(wěn)寫性獲得市場(chǎng)的好評(píng)。

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